在檢測中,如果室內干擾因素太多,為排除干擾,可在風口出口加隔離罩,在罩內進行檢測,這樣檢測的數據較為準確。
尤其要注意的是,在過濾器和安裝框架之間的檢漏,可以沿安裝框架檢漏,也可以送風口箱體斷面上檢漏,但要排除卷吸氣流的干擾,要避免箱體上的積灰干擾,尤其是采樣口不能接觸高效風口箱體或過濾器的框架。
在有速度的氣流中采樣,采樣速度應等于氣流速度,否則采樣濃度將大于或小于真實濃度,即氣流速度大于采樣速度,采樣濃度將大于真實濃度,反之,氣流速度小于采樣速度,采樣濃度將小于真實濃度。
假定高效過濾器下實際斷面風速為 0.45 m/s,圓形取樣口直徑Ds 的計算:
V×1/4×πDs =Fa 2
Fa —— 儀器采樣量,28.3 L/min=472 cm3/s
V —— 過濾器面風速 0.45 m/s
經計算 Ds=36. 5 mm
實際上儀器的取樣口直徑為 35 mm 或正方形 30×30 mm,當然取樣口也可以是長方形的,經計算此時的采樣速度為 0.49 ~0.52 m/s,可以認為是等速采樣。
根據國際標準組織 (ISO) 關于潔凈室及相關受控環境的測試和測試方法 (ISO14644-3) 中公式計算:Sr ≤Cc×Ps×K×Dp×Fs/Np=50×0.005%×10×3.5×472/Np式中:Sr -探管掃描速率 cm/s;
Cc -被測過濾器上風向氣溶膠濃度 cm-3 (50粒子 /cm3);
Ps -被測過濾器最易穿透粒徑最大允許整體穿透率;
PL -被測過濾器的最大允許泄漏;
K -一個因數,表示 PL 可能比 Ps 大多少倍;
Dp -平行于掃描方向的探管尺寸 (cm),本文使用圓形采樣管,直徑 35 mm;
Fs - 離 散 粒 子 計 數 器 的 標 準 樣 品 流 量,
Fs=472 cm3/s (28.3 L/min);
Np -預期量,表現出泄漏特征的粒子計數值;
用下式計算:
Np=Cc×Ps×K×Fs
Np=Cc×Ps×K×Fs=50×0.005%×10×472=11.8 個,代入 Sr式得Sr=Cc×Ps×K×Dp×Fs/Np
=50×0.005%×10×3.5×472/11.8= 3.5(cm/s)
每個測點實際獲得時間 Ts=Dp/Sr=1 s
所以,采樣口的掃描速率是和上游粒子濃度穿透率、K值、采樣口的口徑、采樣流量有著密切的關系。特別需要指出的是, 如采用 28.3 L/min 的粒子計數器和 2.83 L/min的粒子計數器,他們的掃描速率可以相差十倍,也就是講,每檢測一個過濾器的時間也相差十倍。
規范要求掃描速率為 5 ~ 20mm/s (其實這個速率是應該根據具體情況可以計算調整的,一般建議采用 28.3 L/min 的粒子計算器,掃描速率在 30 ~ 5mm/s 左右)。
規范第5.4.1條指出“對于高效過濾器,應不大于過濾器出廠合格透過率的 2 倍,對于超高效過濾器,應不大于出廠合格透過率的 3倍。”而根據條文說明的第四節評定標準則相反,高效過濾器的透過率是 3 倍,而超高效過濾器的是 2倍。從提供的數據來看,應該是以條文為準。
如果上游濃度為 3.5×104 粒子 /L,0.5μm的高效過濾器效率是99.99%,下游濃度為 3.5×104×0.01%×3=10.5。如果粒子計算器檢測≤ 10應為合格,否則應進行修復,修補總面積不能超過過濾器截面的 5%,每個修補點修補的最大長度必須在 40mm以下。
本文用 ISO 14644-3的檢漏方法及有關計算。如上述,Np 是表泄漏特征的粒子數,在 Np=11.8 時,可接受觀測計數 Ca=7個。在檢漏中,塵埃粒子讀數C ≤ Ca時,認為掃描區域無泄露,可繼續掃描,否則,要做靜態測定。靜態測定時,采樣頭在測點的滯留時間設定為 10秒鐘,此時測得的最大粒子數為Npa:Npa=Cc×PL×FS×K=50×0.005%×10×472×10=118
這是采樣流量為 472 cm3/s,采樣時間為 10 s時的讀數值,大于此數可判斷為泄漏。
如果系統總風量不大,DOP 發塵可直接送入總風管。如果 DOP發塵的總量不夠,達不到預計的濃度要求,可將 DOP直接發入高效送風口的靜壓箱。需要指出的是,上游的氣溶膠濃度需要檢測。如果穩定后,可對每個過濾器進行泄漏檢測。如果上游的氣溶膠濃度太高,粒子 計數器無法檢測,可通過稀釋的方法來進行測量。
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